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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本本多石英振動體高頻率清洗機 W-357-1MQG-SKC

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
詳情介紹:

下一代清洗技術(shù),實現(xiàn)低損害和高清潔度

2006年,石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中,通過在振動體上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀,以適應(yīng)不同的用途,能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等

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